近幾年來，現(xiàn)在很多人都開始關(guān)注并了解射頻電源維修。下面了解一下細(xì)節(jié)問題。

維修的設(shè)備種類很多，列舉幾種，刻蝕設(shè)備所用的國產(chǎn)中科院及中國微電子所研究制造的SY型射頻功率源包括黑色面板和白色面板兩種，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及進(jìn)口刻蝕設(shè)備射頻電源維修；PECVD所用的美國AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射頻電源維修；RF射頻電源維修，燒結(jié)爐驅(qū)動卡維修；1394電機(jī)驅(qū)動卡維修;baccini絲網(wǎng)印刷機(jī)設(shè)備工控主板維修、相機(jī)驅(qū)動卡維修、恒溫槽維修等光伏設(shè)備電子備件維修有豐富的維修經(jīng)驗(yàn)。

射頻維修的電源也有很多種類，主要包括IGBT電源維修，電力電源維修，EPS電源維修等。其實(shí)不管種類有多少，內(nèi)部原理是一樣的，維修的方法也是很相似的，大家只要掌握技術(shù)的核心就可以了。

我們會遇到一很多的故障。故障現(xiàn)象1：打開電源，電源指示燈不亮；故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預(yù)熱燈不亮；故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮，輝光不亮；故障現(xiàn)象5：無功率輸出；故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值。當(dāng)然遇到的故障會很多，遠(yuǎn)不止這里，重要的是掌握維修的方法，看到故障就知道怎么修。

射頻電源的基本維修步驟，1.初步檢測一下變頻器的故障2.用風(fēng)槍對變頻器整機(jī)內(nèi)外進(jìn)行除塵處理3.用儀器對電路板油污進(jìn)行處理4.恒溫控制箱對電路板進(jìn)行風(fēng)干5.檢測變頻器的具體故障6.維修變頻器均會用相應(yīng)的功率電機(jī)進(jìn)行負(fù)載測試。

關(guān)于射頻電器維修也并不是想象中的那么難，首先我們要了解電器的基本原理，在發(fā)現(xiàn)問題的時(shí)候，我們從故障現(xiàn)象中去分析問題的所在，再用儀器進(jìn)行各種測試，確定維修方案再執(zhí)行。射頻電器維修還有很多需要探討的問題，這里只是說了射頻電器維修的一些基本知識，看完我們還要理論結(jié)合實(shí)際，去動手實(shí)踐操作，才能更加熟練的掌握維修技術(shù)。